Popis předmětu - XP13DTF

Přehled studia | Přehled oborů | Všechny skupiny předmětů | Všechny předměty | Seznam rolí | Vysvětlivky               Návod
XP13DTF Diagnostika tenkých vrstev
Role:S Rozsah výuky:2P+2L
Katedra:13113 Jazyk výuky:EN
Garanti:Polcar T. Zakončení:Z,ZK
Přednášející:Polcar T. Kreditů:4
Cvičící:Polcar T. Semestr:L

Anotace:

Surface characterization. Definition of a thin film. Deposition methods; chemical vapor deposition, physical vapor deposition. Thin film characterization: optical methods; electron diffraction. Ion implantation. X-ray diffraction and photoelectron spectroscopy. Thickness, mechanical, optical and electrical properties.

Výsledek studentské ankety předmětu je zde: XP13DTF

Cíle studia:

The main goal is to provide an overview of analytical methods focused mainly on thin films deposited by chemical and physical vapor deposition.

Osnovy přednášek:

1. Ideal and real surface, surface roughness, surface characterization
2. Definition of thin film, Chemical Vapor Deposition
3. Physical Vapor Deposition, Growth of thin films
4. Optical Methods, AFM
5. Electron Diffraction, LEED and RHEED methods
6. Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy
7. Auger Electron Spectroscopy (AES), Transmission Electron Microscopy (TEM)
8. Ion implantation, Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS)
9. Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA)
10. X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron spectroscopy
11. Thickness measurements
12. Mechanical properties
13. Optical and electrical properties

Osnovy cvičení:

PhD students will visit research laboratories and carry out simple measurements on selected samples (AFM, SEM/EDX, XRD, Raman, etc).

Literatura:

1. Surface Analysis: The Principal Techniques, John C. Vickerman, Ian Gilmore (Editors), Wiley, 2nd edition, 2009, ISBN 0470017643
2. Surface Analysis Methods in Materials Science, D.J. O'Connor, Brett A. Sexton, Roger S.C. Smart (Editors) , Springer, 2nd edition, 2010, ISBN 3642074588

Požadavky:

Poznámka:

Předmět je vyučován pouze v anglickém jazyce

Klíčová slova:

Surface analysis; thin film; deposition methods; microscopy

Předmět je zahrnut do těchto studijních plánů:

Plán Obor Role Dop. semestr
DOKP Před zařazením do oboru S
DOKK Před zařazením do oboru S


Stránka vytvořena 30.11.2020 17:50:52, semestry: L/2021-2, Z,L/2020-1, L/2019-20, Z/2021-2, připomínky k informační náplni zasílejte správci studijních plánů Návrh a realizace: I. Halaška (K336), J. Novák (K336)
Za obsah odpovídá: doc. Ing. Ivan Jelínek, CSc.