Subject description - A8M34MST

Summary of Study | Summary of Branches | All Subject Groups | All Subjects | List of Roles | Explanatory Notes               Instructions
A8M34MST Microsystems Extent of teaching:2P+2L
Guarantors:Husák M. Roles:PO Language of
teaching:
CS
Teachers:Bouřa A., Husák M. Completion:Z,ZK
Responsible Department:13134 Credits:5 Semester:L

Anotation:

Předmět se zabývá systémovou integrací uplatňovanou při návrhu digitálních a analogových systémů s uplatňováním systémového inženýrství, řeší propojení různých typů moderních elektronických systémů na čipu a externích. Ukazuje na nové možnosti realizace a aplikace integrovaných mikrosoučástí pracujících s různými principy a veličinami využívajícími především MEMS technologií, zvyšování spolehlivost se všemi jejími atributy. Předmět představuje moderní prvky - mikroaktuátory s různými principy jejich činnosti včetně základních aplikací v průmyslu, medicíně, regulaci, řízení automobilismu, apod. Jsou zde zmíněny základní prvky využití nanotechnologií a nanoelektronických struktur.

Course outlines:

1. Mikrosystém a mikrosystémové struktury, energetické domény
2. Aktuátory - základní využívané fyzikální a biochemické principy a mechanismy, scaling
3. MEMS a MOEMS struktury, konstrukce MEMS komponent a RF prvků (elektronické přepínače, filtry, optické
přepínače, laditelné kapacity a další)
4. Mikroaktuátory a jejich fyzikální principy a vlastnosti
5. Elektrostatické lineární a rotační aktuátory, manipulátory a mikromotory
6. Piezoelektrické mikroaktuátory, mikromotory a manipulátory
7. Mikroaktuátory s magnetickými a tepelnými principy
8. Optické a mechanické mikroaktuátory a mikropohony
9. Mikroaktuátory s chemickými a biochemickými principy, Lab-on-Chip, mikrospektrometry
10. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů, biometrické součásti
11. Taktilní senzory a principy činnosti dotykových displejů
12. Manipulátory a mikromotorky, využití pro řízení, mikroposuvy apod.
13. Mikrosystémové technologie (včetně MEMS)
14. NEMS nanostruktury s využitím nanomateriálů

Exercises outline:

Literature:

1. Husák,M.: Mikrosenzory a mikroaktuátory. Academia 2008
2. Fraden,J.: Handbook of modern sensors. American Institute of Physics, Woodbury 1997

Requirements:

Webpage:

http://moodle.fel.cvut.cz/

Subject is included into these academic programs:

Program Branch Role Recommended semester
MPOES3 Solid State Systems PO 2


Page updated 13.12.2019 12:52:19, semester: Z,L/2020-1, L/2018-9, Z,L/2019-20, Send comments about the content to the Administrators of the Academic Programs Proposal and Realization: I. Halaška (K336), J. Novák (K336)